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          技術(shù)文章

          真空井式坩堝爐詳細(xì)參數(shù)及原理

          技術(shù)文章

          本設(shè)備是由石英坩堝(或氧化鋁陶瓷坩堝)和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導(dǎo)體晶片,也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。

          真空井式坩堝爐參數(shù)說明

          型號

          AFD-1200T

          AFD-1400T

          AFD-1700T

          工作溫度

          >1200℃

          >1400℃

          >1700℃

          加熱元件

          電阻絲

          硅碳棒

          硅鉬棒

          熱電偶

          K型

          S型

          B型

          控溫方式

          31段可編程自動控制,PID調(diào)節(jié)控溫度

          升溫速率

          0-10℃

          0-20℃

          控溫度

          ±1℃

          大真空度

          -0.1MPa

          爐膛材料

          氧化鋁陶瓷纖維板

          爐殼

          雙層爐殼,風(fēng)冷結(jié)構(gòu)(爐底安裝兩個散熱風(fēng)扇),爐殼表面溫度低于60度

          額定功率

          1KW—8KW

          常用爐膛尺寸

          Φ240xH220mm;Φ40xH300mm;Φ60xH300mm;

           Φ80xH300mm;Φ100xH300mm;Φ120xH300mm

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